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国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备下线

2023-09-13 08:41:12 来源:天空软件网 我要评论()

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近日,常州捷佳创精密机械有限公司成功研发并下线国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备,该设备将不久后部署至某合作客户处。这款硅芯清洗设备主要用于硅料端制程的硅芯腐蚀清洗,采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺,可有效清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子,产品适用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程,清洗后总金属含量不超过0.2ppbm。 该设备的主要技术特点包括材料升级、工艺升级、内部洁净升级、结构升级和制作升级。捷佳伟创作为太阳能光伏电池设备行业领军企业及半导体设备制造商,一直致力于研发制造一流专业设备,推动国内相关行业发展。目前,公司已实现表金属0.5ppbw以上等级的电子级硅料批量出货,预计2024年第一季度将推出0.1ppbw以下的产品。未来,捷佳伟创将继续秉承“技术领先,管理领先,服务领先”的发展战略,精进光伏电池生产设备及半导体湿法清洗设备研发,并向更广阔的产品领域和更丰富的技术路线继续发展,为客户提供技术领先、质量过硬、服务周到的产品。

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