早前，ASML发布了2021年第三季度的财报。报告中显示2021年第三季度净销售额为52亿欧元（约386.64亿人民币），净利润为17亿欧元，毛利率达51.7%。新增订单金额62亿欧元。 ASML预计2021年第四季度营收约为49~52亿欧元，毛利率约51%~52%。
ASML 总裁兼首席执行官 Peter Wennink 表示，新增订单中的29亿欧元来自EUV系统订单，展现了对光刻系统的高需求。此外其还表示有望在四季度时实现全年营收增长 35% 的目标。
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